| Имя | Печь для синтерации карбида кремния |
|---|---|
| Тип | Индукционная печь |
| Использование | Печь для сфинтерации |
| Власть | 150 кВт - 550 кВт |
| Номинальная температура | 2400℃ |
| Имя | Высокотемпературная спекая печь |
|---|---|
| Функции | Однородное нагревание |
| Власть | 250/400/500/800 |
| Метод отопления | Топление сопротивления |
| Номинальное напряжение питания | 380 В. |
| Источник отопления | Микроволна |
|---|---|
| Рабочая температура | 1550°C в атмосфере,1450°C в вакууме |
| Метод измерения температуры | Ультракрасный термометр |
| Уровень статического окончательного вакуума | ≤10-3Pa |
| Имя | печь глубокого вакуума |
| Источник отопления | Микроволна |
|---|---|
| Рабочая температура | 1550°C в атмосфере,1450°C в вакууме |
| Метод измерения температуры | Ультракрасный термометр |
| Уровень статического окончательного вакуума | ≤10-3Pa |
| Имя | печь глубокого вакуума |
| Имя | Микроволновая печь для синтеза |
|---|---|
| Источник отопления | Микроволна |
| Рабочая температура | 1550°C в атмосфере,1450°C в вакууме |
| Точность контроля температуры | ± 0,1% |
| Уровень статического окончательного вакуума | ≤10-3Pa |